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射频电源 RF Power Source with RF Auto Tuner

功率等级:100W、300W、600W、1200W、2400W

输出频率:13.56MHz、40KHz、380KHz、450KHz、

                 2MHz、27.12MHz、40.68MHz

应用领域:等离子Plasma清洗、刻蚀、涂层、焊接等


  • 产品概述和特点
  • 技术参数

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           射频电源 RF Power Source                    自动阻抗匹配器 RF Auto Tuner


    T&C生产的射频电源,采用晶体管设计,具有能耗低、体积小、使用寿命长、性能稳定等优点。内置信号源也可外接信号源、增益0-100%可调,可通过面板、RS232接口、Sub-25模拟接口对设备进行控制,配备免费软件。面板可显示和调节频率、设定功率、正向功率、反射功率、负载功率。具有过压、过流、过反射、过温等保护措施。配备自动阻抗匹配器,匹配范围广,匹配速度极快。


    13.56MHz射频电源RF Power Source

    型号

    输出功率

    尺寸(H*W*L,mm

    重量

    AG0113

    100W

    133*222*381

    7.0kg

    AG0313

    300W

    133*222*381

    7.0kg

    AG0613

    600W

    133*222*381

    7.0kg

    AG1213W

    1200W

    133*222*406

    7.0kg

    AG2413W

    2400W

    133*483*320

    12.0kg

     

    13.56MHz自动阻抗匹配器RF Auto Tuner 

    型号

    输出功率

    尺寸(H*W*L,mm

    重量

    AIT-600-03

    300W

    133*222*381

    5.0kg

    AIT-600-06R

    600W

    152*305*406

    7.0kg

    AIT-600-12R

    1200W

    152*305*406

    7.0kg

    AIT-600-24R

    2400W

    152*305*406

    7.0kg